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电子级超纯水水质标准
范围：GB/T 11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。本部分适用于电子和半导体工业用高纯水清洗用水。
代替 GB/T 11446.1-1997
电子级水的技术指标应符合表1规定。
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